概况和原理
JKT高真空抽气机组,以罗茨滑阀机组作为预抽,扩散真空泵作为主泵的一种高真空机组。扩散泵主
体及挡板均有改进,使得在较低真空邻域抽速有较大程度的提高。JKT机组可用来抽除真空系统内的空气
和其它对泵结构材料及泵油不起化学反应的气体,使被抽系统获得10~10Pa的低气压(高真空)环境。
JKT扩散机组可作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、真空侵渍、太空模拟
实验装置等高科技设备的高真空获得装置,以及其他需要在10~10Pa的低气压环境下工作的真空系统的配
套设备。